空气过滤器的选用：净化空调系统根据大气含尘浓度、大气中各种污染物浓度和产品生产工艺特点及要求配置各类空气过滤器——粗效、中效、高中效、亚高效和高效、超高效以及化学过滤器等。
具体净化空调系统中空气过滤器的配置和选用应根据洁净室的空气洁净度等级和产品生产工艺的特殊要求（当工艺无特殊要求时，一般都是按空气洁净度等级配置）合理配置和选用，对于6级（1 000级）和比6级洁净度差的洁净室的净化空调系统通常采用三级空气过滤，即粗效、中效和高效过滤器；粗效、中效（或中高效）过滤器，通常设在空气处理装置(AHU)内，且将中效或中高效设在正压段；高效或亚高效过滤器一般设在洁净室内净化空调系统的末端，也有将高效过滤器集中设在集中的空气处理装置(AHU)内，但此时应对送风管道提出严格的清洁要求，以避免净化后的空气被污染。
对于5级（100级）和更严格的洁净室的净化空调系统中空气过滤器的配置，应根据洁净室的总体设计方案及采用的净化空调系统的要求配置各类过滤器，比如有的集成电路生产用4级(O.ltim)和更严要求的洁净室采用新风集中处理，为了严格去除大气中的微粒和各种污染物，通常在新风处理装置中设置粗效、中效（中高效）、亚高效甚至高效过滤器和化学过滤器或水喷淋装置等；在洁净室的循环风系统还设有高效、超高效和化学过滤器等；有的集成电路生产用洁净室还在生产过程的某些生产区、生产工序或工艺设备设微环境装置，以确保产品生产所需的空气洁净度要求。
